1.测试片:
直径:2~12英寸
测试片是半导体产业中进行设备性能测试、工艺测试所使用的实验片,用来考察各个设备和各段工艺的状态和稳定性。
2. SOI硅片
直径2~8英寸
器件层厚度最薄可到150nm,埋氧层厚度可到最薄1um
可根据用户所需器件层、埋氧层、体硅各层材料的参数定制,以及多层SOI的定制。
3.氧化硅片(国产/进口)
直径 1~12英寸
氧化层厚度:100Å~20um
氧化硅片是指在硅片表面存在一层氧化层,氧化层的厚度根据用户需求而定。
根据产品工艺要求可提供干湿干氧和纯干氧不同工艺氧化片。
4.硅片正片(国产/进口)
掺杂类型:N、P
晶向:<100>,<110>,<111>
直径:2~12英寸
电阻率:常用各种范围均提供,0.001~10kΩ/cm
TTV、平整度、弯曲度、翘曲度、直径工差、厚度工差、晶向偏离度等参数严格按照Semi标准执行