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微流控芯片是指在不同材料(玻璃、硅或聚二甲基硅氧烷的聚二甲基硅氧烷等聚合物)上通过刻蚀或模压形成一系列微通道。微流控芯片里的微通道连接在一起,以实现所需的功能(混合、泵、分类或控制生化环境)。
SU-8器件
胶厚在3um到200um,线宽和胶厚为1:1
PDMS器件
可达到微米级别线宽,采用高精度模具,误差≤±10%
玻璃流道器件
可达到微米级别深度,可控精度±5%以内,深宽比可达1:2
硅流道器件
可达到纳米级别线宽,可控精度±5%以内,流道最大深宽比可达20:1